E05412 - SEMI E54.12 - CC-LINK のためのセンサ／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様

本スタンダードは，global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年12月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年5月発行。前版は2006年11月発行。 　 注意：　本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。 　 注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された。 　 本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータ・ネットワーク（SAN）スタンダード・グループの一部であり，CC-Linkスタンダードに基づいた独自の通信プロトコルを規定するものである。本ネットワーク通信スタンダード（NCS）は，明らかにSEMI SANおよびCC-Linkスタンダード全部で一つのオープン・スタンダードを完璧にそして明白に定義している。そのスタンダードは半導体製造装置内でネットワーク化されたデバイスに標準仕様として相互運用性を持たせるための業界独自の方法を提供することになる。 　 CC-Linkとはベンダーから独立した，オープンなデバイスレベル・ネットワーク・スタンダードである。ベンダーからの独立性およびオープン性はCC-Link協会によって保証されている。 　 Referenced SEMI Standards SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior and Services SEMI E54.1 — Sensor/Actuator Network Common Device Model SEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device SEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In-Situ Particle Monitor Device