E05408 - SEMI E54.8 - PROFIBUSのためのセンサ／アクチュエータネットワーク通信に関する仕様

本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年11月19日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年2月にwww.semi.orgで，そして2009年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1999年9月に発行，前版は2005年3月に発行された。 　 注意：　本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。 　 本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN: Sensor/Actuator Network）スタンダード・グループの一部であり，PROFIBUSスタンダードに基づいた独自の通信プロトコルを定義するものである。このネットワーク通信スタンダード（NCS: Network Communication Standard），SEMIセンサ／アクチュエータネットワーク・スタンダードグループおよびPROFIBUSスタンダード全部で一つのオープンスタンダードを完璧にそして明白に定義している。そのスタンダードは半導体製造装置内でネットワーク化されたデバイスに標準仕様として相互運用性を持たせるための業界独自の方法を提供することになる。 　 PROFIBUSとはベンダーから独立した，オープンなフィールドバス・スタンダードで，製造・プロセス・建築の自動化の分野で幅広いアプリケーションに適用される。ベンダーからの独立性および公開性はPROFIBUSに関するヨーロッパ・スタンダードIEC 61158 part 2 から part 6 と IEC 61784-1によって保証されている。PROFIBUSはPROFIBUSのバージョンの一つであり，自動化コントロールシステムと分散I/Oの間にデバイスレベルで高速かつ低コストの接続性を確立できるよう最適化されている。 　 本文書はSEMI E54.1準拠のPROFIBUS仕様に基づいたSAN通信スタンダードを規定している。本文書自体は，本スタンダードに準拠するインテリジェントデバイスがSEMI E39に準拠した方法を使ってSANで情報を交換するためにサポートしなければならないプロトコル，サービス，および挙動を規定している。 　 本ネットワーク通信スタンダード（NCS）および関連PROFIBUSスタンダードは，SEMIスタンダードSAN共通デバイスモデル（CDM: Common Device Model）仕様およびSEMIスタンダード特定デバイスモデル（SDM）仕様（例えばマスフローコントローラやパーティクルのその場観察装置あるいは エンドポイントデバイス等に関する仕様など）と共に，ネットワーク上のさまざまなデバイス特有のデータ構造，インタラクション，および挙動について記述している。この混成モデルは半導体製造装置に含まれているインテリジェントセンサ，アクチュエータ，およびコントローラ相互の通信に関する完全な相互運用性スタンダードとなる。 　 Referenced SEMI StandardsSEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and ServicesSEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device ModelSEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow DeviceSEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In-Situ Particle Monitor DeviceSEMI E54.11 — Specific Device Model for Endpoint DevicesSEMI E54.18 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In-Situ Particle Monitor Device