E05419 - SEMI E54.19 - MECHATROLINKに関するセンサ／アクチュエータネットワークの仕様

本スタンダードは，global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2007年12月20日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年2月にwww.semi.orgで，そして2008年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2007年3月に発行された。 注意： 本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。 この仕様書は，半導体製造装置におけるセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN）SEMI E54のモデルに沿って，MECHATROLINKを使用したインテリジェントな機器間における通信の仕様を定義する。 この仕様書は，SEMI E54 センサ／アクチュエータ機器の，共通／特定デバイスモデルに基づいた，相互接続性について定義する。 この仕様書は，センサ／アクチュエータ／コントローラ機器が，制御機器の一部としてどのようにMECHATROLINKの公開通信仕様の§4で定義される仕様に対応するかを規定する。 この仕様書は，SEMI E54の主要な部分である，共通デバイスモデル（CDM）と規定済みの特定デバイスモデル（SDM）との関係を定義する。この仕様書は，CDMの仕様書といくつかのSDMの仕様書，およびMECHATROLINKで公開されている仕様書と合わせて使用される。 Referenced SEMI StandardsSEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and ServicesSEMI E54.1 — Standard for Sensor/Actuator Network Common Device ModelSEMI E54.3 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow DeviceSEMI E54.10 — Specification for Sensor/Actuator Network Specific Device Model for an In-situ Particle Monitor DeviceSEMI E54.11 — Specific Device Model for Endpoint DevicesSEMI E54.18 — Specific Device Model for Vacuum Pump Devices