M01500 - SEMI M15 - 半絶縁ガリウムヒ素ウェーハ用の鏡面ウェーハの許容表面欠陥表
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この資料は，鏡面半絶縁ガリウム砒素（GaAs）ウェーハの欠陥をタイプ別にその許容できる最大数を規定している。 Referenced SEMI StandardsNone.
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