M01200 - SEMI M12 - ウェーハ表面の連続英数字マーキングの仕様

本スタンダードは，global Traceability Committeeで技術的に承認されている。現版は2006年5月16日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2006年6月にwww.semi.orgで，そして2006年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1988年発行，前版は2003年11月に発行された。 この仕様が規定するのは，シリコンや他の半導体ウェーハ用に提供される連続英数字マーキングである。ウェーハのシリアルナンバーはウェーハとデバイスの製造プロセスにおけるトラッキングおよび制御のために，適切なデータベースシステムに格納されたウェーハのプロパティと個々のウェーハをリンクさせるものである。 マークに使われる基本的なコードを定義することで，この仕様はウェーハメーカーにより施されるウェーハマーキングの同一性を確実にするものである。従って，自動光学式文字読取（OCR）装置のパフォーマンス要求を簡略化することを可能にし，ウェーハを取り扱うことなく人が直接読み取ることができ，またウェーハレベルのプロセス変動を解明するのに役立つものである。 このマーキングコードが意図しているのは，広範囲なウェーハ製品（例えば，エピ，SOI，加工されたポリッシュドウェーハなど）に役立つことである。 Referenced SEMI StandardsSEMI M13 — Specification for Alphanumeric Marking of Silicon Wafers