F10100 - SEMI F101 - ガス分配システムの圧力レギュレータの性能を決定するための試験方法

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2005年11月発行。 　 注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。 　 本文書の目的は，ガスシステムに設置される圧力レギュレータの試験方法を定義することである。この試験方法を適用することによって，性能判断を目的として試験されるレギュレータ間のデータが比較可能になることが期待される。 　 本文書では，レギュレータの性能特性を数値化するための試験方法を規定する。 　 Referenced SEMI Standards SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components SEMI F32 — Test Method for Determination of Flow Coefficient in High Purity Shutoff Valves