C00354 - SEMI C3.54 - シラン（SiH4）のガス純度ガイドライン
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本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2006年9月発行。 注意: 本文書は，2011年，バロット投票により廃止が承認された。 シランは，自然性，引火性の無色のガスである。 Referenced SEMI StandardsNone.
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