C00355 - SEMI C3.55 - シラン（SiH4），バルク，品質99.994%の仕様
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本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年2月発行。 本文書の目的は，半導体産業で使用されるシラン(SiH4)の仕様を提供するものである。 Referenced SEMI StandardsNone.
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