S02500 - SEMI S25 - 過氧化氫貯存及搬運系統之安全基準

本安全基準是由全球環境、衛生與安全委員會核准。此版本在2006年5月16日由全球稽核審閱次委員會認可及發行。並於2006年6月在www.semi.org發行線上版本，同年7月發行光碟版。 　 注意：本安全基準中以「註」為標題的段落並非正式內容，不得以此修改或取代正式的安全基準。 　 本基準係針對半導體與平面顯示器產業之過氧化氫貯存、處理設備及系統設定最低的安全與衛生標準。 　 本安全基準所指的過氧化氫（H2O2）濃度是指在半導體及平面顯示器產業常用的濃度（例如：濃度低於40% w/w）。 　 本安全基準著重於半導體或平面顯示器工廠內部過氧化氫的貯存、處理、運送及輸送作業。 　 本安全基準包括下列章節： 目的（第1節） 範圍（第2節） 限制（第3節） 參考標準及文件（第4節） 詞彙（第5節） 安全原則（第6節） 一般原則（第7節） 教育訓練（第8節） 緊急應變（第9節） 材料、零組件及結構（第10節） 貯存（第11節） 操作（第12節） 輸送系統及模組／輔助設備（第13節） 　 Referenced SEMI StandardsSEMI S2 — Environmental, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment