M04300 - SEMI M43 - ウェーハナノポトグラフィを報告するためのガイド
$224.00
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本ガイドは，Global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されたもので，North American Silicon Wafer Committeeが直接責任を負うものである。現版は11月22日にNorth American Regional Standards Committeeによって承認された。2000年12月にまずwww.semi.orgで入手可能となり，2001年3月に発行に至る。 本ガイドは，シリコンウェーハに関するナノポトグラフィ表面特徴を報告するためのフレームワークを提供する。 Referenced SEMI StandardsSEMI M1 — Specification for Monocrystalline Polished Silicon Wafers
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