M02600 - SEMI M26 - ウェーハの運搬に使用される100 mm，125 mm，150 mm，200 mmウェーハシッピングボックスの再利用ガイド

本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年8月27日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年10月に www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年に発行，前版は2004年3月に発行された。   本文書は100 mm，125 mm，150 mm，200 mm ウェーハシッピングボックスのリユースに関する，ボックス洗浄業者，ウェーハ供給者，ウェーハ利用者のためのガイドである。   その目的はウェーハ供給者から顧客への100 mm，125 mm，150 mm，200 mmウェーハの輸送に関する総コストを削減することである。　Referenced SEMI StandardsSEMI M31 — Mechanical Specification for Front-Opening Shipping Box Used to Transport and Ship 300 mm Wafers SEMI M45 — Specification for 300 mm Wafer Shipping System