M00600 - SEMI M6 - 太陽光電池用シリコンウェーハの仕様

本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年8月29日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2008年10月にwww.semi.orgで，そして2008年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1981年発行，前版は2007年7月に発行された。   注意：　本文書は前版のSEMI M6とSEMI M6.1，SEMI M6.2，SEMI M6.3，SEMI M6.4，SEMI M6.5を全面改訂したものである。   本仕様は太陽光（PV）電池の製造に使用されるシリコンウェーハの要求事項について述べている。　Referenced SEMI StandardsSEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers SEMI M59 — Terminology for Silicon Technology SEMI MF26 — Test Methods for Determining the Orientation of a Semiconductive Single Crystal