F08800 - SEMI F88 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズマスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年8月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年10月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2004年3月発行。前版は2012年3月発行。 　 本スタンダードは，1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ／マスフローメータの特性（仕様）と機械的な寸法を規定する。 　 本スタンダードは，コンポーネントの共通する要求事項，レイアウト，サイズ，詳細な仕様，寸法を含む。 　 本スタンダードは，スタンダードサイズマスフローコントローラ／マスフローメータに適用される。コンポーネントは，上部からアクセス可能なファスナー（ボルト等）を使用し，基板（ベース）に実装される。 　 本スタンダードは，308 kPa (44.7 psia)において50 slm以下（窒素換算）の流量調整をするシステムのコンポーネントに適用される。また，本スタンダードは，20° C において3445 kPa (500 psia)以下の使用圧のコンポーネントに適用される。 　 Referenced SEMI StandardsSEMI E49.8 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 — Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used in General Purposes, High Purity and Ultra-High Purity Semiconductor Manufacturing Applications