E09000 - SEMI E90 - 기판 추적 사양

이 표준은 기술적으로 Global Information & Control Technical Committee에 의해 승인되었으며, 이 개정판의 발행은 2011년 12월 24일Audits and Reviews Subcommittee에 의해 승인되었다. 원본은 1999년에 발행되었으며, 이전 개정판은 2011년에 11월에 발행되었다. 최신본은 www.semiviews.org와 www.semi.org에서 2012년 3월부터 이용 가능하다. 　　 이 표준의 목적은 제조 장비에서 기판(substrate/제조되는 제품)을 추적하기 위해 장비의 표준 서비스를 제공하는 것이다. 이 표준은 메시지/서비스뿐만 아니라 기판(substrates)의 관리 정보에 대한 개념과 동작을 정의한다. 　 기본적으로 장비가 기판(substrate)의 정보 관리를 위해 서비스를 제공하여야만 하며, 기판(substrate)에 대한 정보는 공장 시스템에 의해 관리되어야 한다. 이 표준은 장비에 존재하는 기판(substrate)의 정보를 관리하는 장비 서비스에 대한 요구사항을 명시한다. 　 이 표준의 범위는 사용자가 요청할 수 있는 장비의 서비스 정보를 정의하는 것이다. 요청된 서비스를 명확하게 하기 위해, 기판(substrate)의 개념과 동작, 기판(substrate)의 위치, 배치(batch)와 배치(batch)의 위치가 정의된다. 　 이 표준은 기판(substrate)을 다루는 제조 장비에서 적용 가능하며, 이러한 서비스의 실행을 위해 장비와 공장 시스템은 어떠한 방법을 통해서든지 통신 연결을 통해 통합되어야 한다.   Subordinate Document: SEMI E90.1-0312 - Specification for SECS-II Protocol Substrate Tracking 　 Referenced SEMI Standards SEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II) SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services SEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS) SEMI E53 — Event Reporting SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)