E08200 - SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM）

本スタンダードは，global Information & Control Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年2月21日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年発行。前版は2006年11月発行。 　 注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。 　 本スタンダードは工程内AMHS搬送装置の個別装置モデル（SEM）を確立するものである（IBSEM）。モデルは装置特性および動作で構成されており，それらはSEMI E30の基本要求および追加選択性能と共に実装される予定である。本スタンダードの趣旨は自動化された（半導体製造およびフラットパネルディスプレイなど）工場へのIBSEM準拠の搬送装置の統合を容易にすることである。本文書では工場自動化コントローラ（ホスト）から見たIBSEM準拠の搬送装置の運用モデルを定義して趣旨を実現している。ここでは標準化されたホストインタフェースおよび搬送装置の運用動作（コントロール，状態モデル，データ報告，報告レベルなど）が定義されている。本スタンダードの範疇の課題のいくつかに関しては今後も活動を続ける必要がある。その課題とはトラフィック管理特性（キューイング），キャリア移載のためのパラレルインタフェース（SEMI E23），搬送システムコントローラアーキテクチャ，および搬送単位の配送などである。 　 本スタンダードの範囲は（§13に規定してある）GEMモデルに準拠するSEMI装置通信スタンダード2（SECS-II）によってホストが認識する工程間，工程内AMHS搬送装置（OHT，OHS，RGT，AGT，DWC）の使用法および説明に限定されている。本スタンダードはSECS通信リンクを通じて搬送装置がどのように見えるかを定義しているが，搬送装置の内部オペレーションは定義していない。ここにはこのクラスの搬送装置すべての基準として個別TRANSFERコマンド状態モデルおよび搬送装置側システムコントローラ状態モデルが含まれている。 　 本文書では（§13に規定されている）GEM基本要求および追加選択性能