E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
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本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行，前版は2010年3月に発行された。 マスフローデバイスで使用される際のガスを順番に並べた参照表となる，半導体産業で使用されるガスに番号を付けた表を提供すること。この表あるいはリストはデジタルマスフローデバイスの製作および使用を簡単にする。 Referenced SEMI StandardsNone.
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